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長(zhǎng)科智能的維修師傅對(duì)Nidec尼得科雙臂晶圓機(jī)器人SR8220-1017上機(jī)測(cè)試時(shí)，收到了如下故障提示：

3-3-0：發(fā)生了ABS無(wú)法信任錯(cuò)誤；

5-5：編碼器通信錯(cuò)誤：編碼器通信超時(shí)（ENCODER通信錯(cuò)誤：ENCODER編碼器通信TIMEOUT）；

11-77-0：編碼器通信接收錯(cuò)誤；

3-1-0：編碼器通知ABS消失；

4-17-0：電壓低下錯(cuò)誤（編碼器錯(cuò)誤）

15-2-0：驅(qū)動(dòng)通信錯(cuò)誤；

5-102：主板通信錯(cuò)誤：主板參數(shù)設(shè)定失敗。

長(zhǎng)科智能的維修師傅對(duì)硬件進(jìn)行排查時(shí)，發(fā)現(xiàn)尼得科伺服電機(jī)MM101N2LBLD磨損嚴(yán)重，和客戶猜測(cè)的一樣。于是采購(gòu)了一臺(tái)新的尼得科伺服電機(jī)給換上。

Nidec尼得科雙臂晶圓機(jī)器人SR8220-1017參數(shù)：

手臂：雙手臂；

自由度：4-AXES

R軸（第1,2軸手臂）動(dòng)作范圍：534 mm；

Z軸動(dòng)作范圍：300 mm/600 mm；

θ軸動(dòng)作范圍：340 deg.;

R軸（第1,2軸手臂）最高速度：5.76rad/sec.；

Z軸最高速度：450mm/sec.；

θ軸最高速度：6.98rad/sec.;

往復(fù)精度：+/-0.1 mm；

潔凈度：ISO Class 2；

本體重量：80 kg。

控制器：SC5000-STD-1010

示教器：OP5000

Nidec尼得科雙臂晶圓機(jī)器人SR8220-1017優(yōu)勢(shì)：

1、采用2ARM構(gòu)造，增大了搬運(yùn)范圍；

2、實(shí)現(xiàn)晶圓的高速傳輸和雙片同取放；

3、確保了超高的直線精度；

4、ARM和Z軸的各種組合以滿足對(duì)應(yīng)各種裝置的需求；

5、可同時(shí)適用于4-12英寸的晶圓搬送。

       尼得科雙臂晶圓機(jī)器人SR8220-1017可用在半導(dǎo)體設(shè)備的前端模塊EFEM，EFEM模塊設(shè)備配備大氣晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，安裝在框架中，框架配備有FFU（風(fēng)扇過(guò)濾器單元）和安裝在前面的裝載端口，是連接物料搬運(yùn)系統(tǒng)和硅片處理系統(tǒng)的橋梁，確保晶圓能在高潔凈環(huán)境下傳輸?shù)焦に嚒z測(cè)模塊。

Nidec尼得科雙臂晶圓機(jī)器人SR8220-1017維修好后，組裝好，準(zhǔn)備發(fā)貨